����ʡ���Ƹ��й���Դ�ḻ��ˮ����ʯӢ�Ĵ�����Ʒ�ʾ���ȫ����λ��ʯӢ������3�ڶ֣����а����ʺ�̼��������������ʯӢɰ�����Ƹ��й���ҵΪ���Ҽ�������֧����ҵ����Ҫ��Ʒ���ۡ�ʯӢ������Ʒ��̼����ĥ���Լ�ʯӢɰ�������ڹ��ڶ�������Ҫ��λ�����У���ͨ��̼���輰(yang)̼�����۵Ĺ����г�ռ���ʷֱ�Ϊ50%��40%��Ȼ����Ŀǰ������̼������ҵ�������������Ͻ�Ϊ����Ʒ����ֵƫ�ͣ������ܺĴ���������ҵؽ�����в�Ʒ�����߸���ֵ��Ʒ�Ŀ�����
�辧(bian)Ƭ���и���̼�������Ǹ������߸���ֵ��Ʒ��Ŀǰ�������г��۸�ԼΪ��̼ͨ�����ۼ۸���10����Ϊ��ͨʯӢɰ�۸���200�����ң����ҹ������г����������ڸ��������ڡ�Ȼ�����辧Ƭ���и���̼����ĥ���۵ľ��ࡢ���ȡ����ȷֲ���������ò���������ԣ���ˮ�ԡ���ɢ�ԣ�Ҫ�ߡ�Ŀǰֻ������������ҵ�����˹辧(bian)Ƭ���и���̼�����۵����켼�������ձ���FUJIMI��ʽ���硢������Electroĥ�Ϲ�˾��������ESK-SIC��˾�ͷ���Saint Gobain��˾�ȣ������г�������������ҵ��¢�ϡ�����FUJIMI��ʽ������ģ�������佀(si)��ˮƽ����Ʒ���������������ȵ�λ���辧(bian)Ƭ���и���̼�����۵Ĺ�Ӧ��ռ�����г���60%���ң�Ҳ��Intel��˾ȫ��Ψһ̼����ĥ������Լ��Ӧ�̡�Ŀǰ����������ԺУ����ҵ�ڽ��й辧Ƭ���и���̼�����۵��з�������������Ʒ��6H���ຬ����������ò����ˮ�Եȹؼ�ָ�귽�棬�������Ƚ�ˮƽ���нϴ��IJ��࣬��Ʒ�������������г����������ڣ�����IC�辧Ƭ���и�����̼��������Ȼ�������ڡ�
�ڴ˱����£����Ƹ���ĥ�����Ͼ���ҵ��ѧ�����ϴ�ѧ�����걨2006���Ƚ���ʡ�Ƽ��ɹ�ת��ר���ʽ���Ŀ——“�辧(bian)Ƭ���и���6H SiC�۲��ϵ��о�����ҵ��”��Ŀ����Ŀ���ţ�BA2006049�������õ��˽���ʡ��ѧ�������Ĵ���֧�֡����Ƹ���ĥ��ί�ж��ϴ�ѧ����6H����̼�����۲�ҵ���ؼ������о����Զ�����ϵͳ���ƺͽ���ʵʩ������ĥ�����Զ�����ϵͳ�����е�һ������Ŀ��
���Ƹ���ĥ��̼�������顢�����ּ��豸(zhi)���������еĺ����豸(zhi)֮һ��500��������Ŀ�з��豸(zhi)�ɹ����Ʊ����˾�������������ò��̼�����ۣ����������豸(zhi)�蹤���ֶ������������ܺĴ���Ч�ʵͣ����Ա�֤��ģ�������Բ����������ȶ��Ե�Ҫ�����ر��Ϲ���ʱ���������ɶ����������ջٵ�����������
���ˣ��������Ƹ���ĥ����ģ�ķ�չ׳�����г��Բ�Ʒ���������������IJ������ߣ�����ĥ��
���Զ�����ϵͳ�����Ʋ�Ͷ��ʹ���ѳ�Ϊһ���dz����ȵ�������
���Ƹ���ĥ������ĥ����������6������ĥ�豸(zhi)������ĥ�豸��Ҫ���������ͷ��������ķ�����������Ҫ��������ĥ�豸(zhi)�ṹ���ɺ���ԭ����
����ĥ�Ǵӹ������һ���Ʒ�ĥ����Ŀǰ���������϶࣬�����ø��ֿ����Ʊ���ú���Ʊ��������Ͽ���ú����ʯ��̼�����Ȳ��ϵ�ϸ�ۼӹ�������ĥ�����ο���һ�����������������бŷ硢�����ڣ��в��н��Ͽڣ���������MPSĥ��Щ���ƣ�������ĥĥ����ת��������ֱ���ģ�NIPSĥĥ����ת���������ǽ���ˮƽ�ġ��û��ṹ��Ҫ�����������������ķ�������Ʒ���������������������������������ɡ����У������ɻ��ܡ������Ͽǡ�������ĥ����ĥ�����ֿ����ɡ�
����ĥ�ۻ�����ԭ��������ʱ���������ϻ�����Ҫ���������ϴӻ����Dz����Ľ��϶��������ڣ�����������÷�����ϵ�ĥ��װ�����Ŵ�ֱ���߹�ת��ͬʱ����oת��������תʱ�����������ã�ĥ�������ڶ�����ѹ��ĥ����ʹ�������������͵�ĥ����ĥ��֮�䣬(zai)��ĥ���Ĺ�����ѹ���ﵽ�������ϵ�Ŀ�ġ�
��ѡ�ּ����̣�������ĥ�������紵���������ڣ�������ĩ����������ĥ���Ϸ��ķ��������з�ѡ�����ȳ����趨��Χ��������������ĥ����ĥ�����ȺϺ����������������������ռ������ռ����ۿ���������Ϊ��Ʒ�������ɴ������ռ����϶˵Ļط��ܻ�����������·��ѭ���ģ������ڸ�ѹ״̬��������ѭ����·�ķ������Ӳ��־������������м��ķ����ܵ�����������С�����ռ��������о���������
����ĥ���鶴�յĺû��ܴ��̶��Ͼ�����̼������Ʒ�Ĺ����������ĸߵͣ�����̼������Ʒ�����Ȳ������������Ӽ䲻�ܴﵽ���ַ��룬����Ʒ�Ĺ����Ͳ���̫�ߣ�������ĥ�ͻ�����������Դ������Ч�ʵ��¡�
�ɼ�������ĥ��������Ч�ʣ�����ĥ���ܺģ�����������̼�����շ۲�Ʒ�IJ��������������ҶԽ��������ɱ���������ĥ��������Ч��������Ҫ�ľ���ʵ�ü�ֵ��
����Ŀ����Ҫ�������Ƕ����Ƹ���ĥ������ĥ�����豸(zhi)����ȫ���Զ������죮�佀(si)���ؼ���������������ʵʱ��������ĥ�����Լ����������ķ�������������ȷ�ж�����ĥ���������ķ�����ʵʱ�������ɴ�С�����ݴ˶Ե������ϻ������������������ķ�����Ƶ�������Զ��Ż����ڣ�ʹ�����豸(zhi)ʼ�մ���ǰ��Э�������ѹ����ķ����Զ�����ϵͳ��
����ĥ���顢(man)�ּ��Զ�������ϵͳ�������з��ɹ���Ͷ��ʹ�ã��ܶԵ������ϻ�����ʵʱ�Զ����ڣ���֤��������ʼ�չ��������Ѹ���״̬���ڱ�֤������ͬʱ���������˸ù���������Ч���ʣ��������ܺġ��ּ��Զ�����ʵ�֣���һ��������̼������ѡ���ȣ����㡢��Ч�������˲�Ʒ�������ڳ��ֹ���ʱ��ϵͳ���Զ��������ضϵ�Դ��������ԭ�ȹ����ֶ��������׳��ֵĶ����������ջٵ����Ĺ��ϣ��������ֳ������豸����ϵͳ�������˹����ڻ����dz����ӹ�ҵ�ֳ��˹����ڣ������������乤������������ĥ�����Զ�����ϵͳ������Ч�Ľ�������ҵ���С�������ά�����µķ��ã����ҶԶ��ٽ�������̼����������������ҵ�������ͽṹ�Ż���������Ҫ��ʾ���ʹ������á�ͬʱ����������PLCϵͳ���ɡ�����ӦPID�����㷨��MPIͨѶЭ���������������о������Ժ�����ϵͳ�������з�����һ���IJο��ͽ������á�
����Ͽ��ͨ����Դ��������ĥ�ۻ�����ĥ��������ĥ�����ȡ�
