ʵ�鷽��
ʵ�����õ�ԭ��Ϊ��ͨ��̼������ĩ������Ϊ30��60um����������ò��ͼ1��ʾ��������150���ӳ��³ʿ�״��X������������������ͼ2��ʾ��������ĩ���Ƚϸߣ�δ������Ե����������塣(zheng)��ĥ�豸Ϊ�Ͼ���ѧ��������������������ʽ������ĥ������ĥ�ٶ�Ϊ200r��min���������ϱ�20��1��̼������ĩװ�ڲ����ֹ������Ϊ��ˮ�Ҵ�������ʪĥ�ķ����������ȿ������ӷ�ĩճ���ڸ����Ļ��ʣ��ֿ��Լ��ٶ���ĥ����ĥ����Ϊ�˲�ʹ�������ȶ�����������Ӧ��ÿĥthͣ��10min������ĥʱ��Ϊ35h������ĥ10h��15h��20h��25h��35hʱ�ֱ�ȡ���������������ɺ�����Philips XL30 FEG��ɨ���羵�Ϲ۲���ĩ��ò����4�����ӳ��²��������ߴ磬ÿ������ȡ5����ͬ�ӳ�����������ƽ��ֵ�����ݲ�������������ͬ��ĥʱ�������ߴ��ķֲ����ߡ���Y-4A��X���������ǶԷ�ĩ��������������ʵ�����������ۡ�
��ͨ����Դ������ĥ��������ĥ�ۻ���ĥ����е�豸��
Ϊ�����ؿ�����ĩϸ�����ɣ����ݵ羵�µĹ۲�����������ĩ���������ȷֲ���ͼ3��ʾ����ͼ3�ɼ���SiC��ĩ������ͬʱ����ĥ�������˲�ͬ�̶ȵ�ϸ��������������Ϊ��������ĥʱ�����ӳ�����ĩ����ϸ������ĥ10h����ʼ�������׳ߴ��������ǣ���ʱ��Ȼ��������������ĩ���ڣ�������ĩ�����ڴ������ϣ�����ʱ�����ӳ���ƽ�����ȳʲ��ϼ�С�����ƣ����������Լ��٣���ĥ20h����С��30nm�Ŀ����Ѿ��ﵽ70%����25hʱ��С��30nm�Ŀ����Ѿ�������80%�������ӳ���ĥʱ�䣬��������ϸ�����������Է�������ͼ3��ʾ��35h�ߴ�Ϊ30nm�Ŀ���ֻ������70%���ϡ�������Ϊ��ĩϸ����һ���̶Ⱥ����ߴ���С����λ�����ı������������ӣ���һ��ϸ������Ҫ����������3������ĥʱ���������п���ʹ����ĩ�žۡ�ͼ4ΪSiC��ĩ�ֱ���20h��25h��ĥ����ɨ���羵(fen)��Ƭ����ͼ4b�ɼ�����ĥ25h�������λ�����Բ���Σ��ߴ�������30nm���ҡ�
��ĥ35h��SiC��ĩ��X��������ͼ����ͼ5��ʾ���Ա�ͼ2�ɼ�����ĥ��������ͼ���������Եı仯(chao)����Ҫ�����ڣ�1)�������ķ������ؿ�����2������ǿ�ȴ��ͣ�˵����ĩ�����ߴ��Ѿ�ϸ������������Ҳ����һ�Ƕ���֤��ɨ���羵(fen)�Ĺ۲�������������X�����������������ؿ�����ԭ�������ھ���ϸ���;����ڲ����������صľ������䣬����������X�����������εĿ��������������˵��о�������Ҳ�б��������⣬��ĥ35h��SiC��ĩ��X��������ͼ����ֻ�к��ٵ����ʷ壬(ren)˵�����ʺ���Ӧ��5%���¡�
�ڸ�����ĥ�����У�����̼������ϸ����������ԭ��������r5]��Ϊ�����е�Ӧ�������£����Ա����ɻ��Ƽ��������������ڸ�Ӧ�������£��������д����ɸ��ܶ�λ�������ɣ�����[5]�е����羵�۲�������������ĥ����ĩ�����Ա���ȷʵ������0.5um�ļ��д������ϳ�ʼ�ε�����Ӧ������λ���ܶȵ����߶����ӣ���һ�����ٽ�λ���ܶ����ɳ�ΪС�Ƕȵ��Ǿ���ʹ����������С��
������ˮ�Ҵ���Ϊ������ĥ�ٽ��˷�ĩ��������������Ϊʪĥʱ��ĩճ���ڸ����ϣ�������ĥ������ĩ�Ļ��ᡣ���⣬�л��ܼ��ļ����������Ʒ�ĩ��������ʹ��ĩϸ��������ĥ�����ײ��������棬�仯ѧ����ǿ������ճ�����ţ������ڼ�����ĥʱ��һ��ϸ�����������Ҵ�һ��Ҫ�����������������������Ϻ�ϡ������ճ�ڸ����ϣ����ܺܺõط���ʪĥ�ij����������������٣������ֹ���ճ���������ڸ������˶�������ʹ��ĥ��Ч�ʽ��͡�ʪĥ������ȴ���ã���ֹ���ȣ������Ϳ���������ĥ�ٶȣ��ø����и������������ݸ���ĩ����ʹ��ĩ��ϸ����
�� ��
1������ĥ�����У�SiC������ϸ����һ�������Ĺ��̣���ĥ25h��������ϸ����30nm���ң���������ʱ��Խ��Խ�ã���ĥʱ�䳬(e)��25h��������ϸ�����ٶ����Է�����
2���������������ʴ��ڵ������£�������ĥ����һ�ֹ��ռ���������Ч�ʽϸߵ�SiC�������Ʊ�������
